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光刻機和蝕刻機有什么區別?

admin 226 0

謝謝邀請!

光刻機和蝕刻機有什么區別?

這樣的答題必須要有專業的人才懂,高端芯片制作工藝光刻和蝕刻機這不是誰都懂的,你也許是專業行家,本人是搞染料化工的,相差十萬八千里,那就等于是我問你核潛艇的主要結構,你能回答嗎?邀人答題那也要看看邀請對像才行。還連續邀請,這不是強人所難嗎?再見!

最近中興事件作為導火索,引發了國人關于芯片討論,其中不免涉及到了芯片制造業兩大至關重要的技術,蝕刻機和光刻機,作為一個業余愛好者,我為大家分享一下我知道的東西。

什么是光刻機

光刻機作為制造芯片的核心裝備之一,因為用途的不同,分為生產芯片的光刻機,用于封裝的光刻機,還有LED領域的投影光刻機,目前主要討論的是用于生產芯片的光刻機,這也是芯片領域,我國最薄弱的環節。

先了解一下光刻中必須要用的東西——光刻膠,簡單的來說這種膠狀物,只能被光腐蝕,而不能被化學物質腐蝕,制造芯片時講光刻膠涂在金屬表面,然后用光把不需要的地方腐蝕掉,制作出自己需要的圖形(電路結構之類的),接下來就該蝕刻機上場了。

什么是蝕刻機

蝕刻分為兩類,一類是干刻,一類是濕刻(目前主流),濕刻就是特定的化學溶液與上個部分光刻機制作后的薄膜發生反應,發生反應過后剩下的東西,就是需要的東西了,這個過程有液體接觸,所以叫濕刻。

干刻更加高級,目前并沒有大規模應用,它是通過等離子電漿去除未覆蓋的薄膜。

光刻機 ASML一枝獨秀

以前光刻機領域還有佳能尼康制衡ASML,不過隨著技術差距越來越多,目前高端光刻機市場被ASML壟斷,7nm級別光刻機17年的產量只有12臺,一臺1.2億美元,還要提前21個月預訂,中國就算排隊,也不知道哪年買得到,背地里還有有些國家作怪,目前國產光刻機還處于90nm階段,任重道遠。

五大蝕刻機廠商 中微是其一

目前能生產7nm級別蝕刻機的有應用材料,科林研發,東京威力科創,日立先端,中微半導體五家公司,中微是唯一一家中國企業,并且已經開始向臺積電供貨,中微也代表著中國頂尖的半導體技術。

中國半導體起步晚,需要走的路還很長,不過中國人最不缺的就是毅力,只有堅持不懈方能厚積薄發。

其實從字面表面意思就能看出來,無論是這兩個其中的哪種機器,用在芯片制造上都有很大的幫助,也是芯片制造的主要方式。隨著時間的推進,現在的光刻技術出現兩種趨勢,一個是光刻機,一種是蝕刻機。

那么這兩種有什么區別呢?

光刻機是芯片制造行業的主要載體。他的工作原理是在硅片上涂上一層均勻的光刻膠,然后利用紫外線照在上面,其中還包含了編碼,把需要刻制的東西編碼完成,用光刻技術刻到上面。從而達到保存的效果。光刻機上面是光照部,中間是掩膜版,最后是需要刻制的載體。

光刻機發展至今,目前已經有了很多種形式,但工作原理大同小異,沒什么區別。而且國內現在已經有了自主產權,發展前景很不錯。

光刻機和蝕刻機有什么區別?-第1張圖片-贊晨新材料

蝕刻機與光刻機比起來就有些粗糙了,他是直接把內容刻在載體上,對載體表面進行侵蝕從而達到刻錄的目的。目前國內的蝕刻機有兩種,干刻和濕刻,但是工作原理都相同,利用離子與電壓的結合,達到刻錄的目的。

總的來說,兩種刻制方式都是主流的形式,如果選擇的話完全是根據自己的需求。只能說兩種都不會讓人失望。

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